半导体元器件清洗设备系列

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AHKING

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半导体元器件清洗设备系列

该设备主要用于PECVD石墨板的清洗，主要有HF清洗、氮气鼓泡 纯水漂洗、循环热风干燥等系统完成。该设备是一个全自动动的清洗设备（人工上下料除外），工艺流程为首先由操作人员将石墨板放入篮框内，采用小推车的形式将其推入上料工位，由全自动机械手提取依次放入各个工艺槽进行HF鼓泡处理、纯水鼓泡漂洗、循环热风干燥后由全自动机械手放入在等待的小推车上，再由操作人员将其取走即完成整个清洗、干燥工艺。